Challenge
專案挑戰
微影黃光區僅有 48 小時停機驗證窗口，須同步啟用三組粒子計數器平行量測；且 ULPA 濾網數量達數百片，傳統單點掃描時效過長，需採網格化自動掃描策略。
製造業 半導體廠（北部科學園區）
半導體廠 ISO 3 超潔淨室年度驗證
園區某 12 吋晶圓廠微影區需年度重新驗證 ISO Class 3 規格，以維持 DUV 先進製程良率基準。昇洋於停機檢修窗口內完成全區粒子、ULPA、浮游菌與靜電驗證。
Approach
服務執行內容
- 01
依 ISO 14644-1 / IEST RP-CC006 執行靜態粒子計數、ISO 14644-3 ULPA 濾網完整性測試
- 02
使用自動化掃描夾具搭配 0.1 µm 粒子計數器，提升掃描效率約 40%
- 03
浮游菌以沉降法 + 空氣撞擊法雙路徑採樣，確保 CFU 數值與製程趨勢比對
- 04
交付完整 IEST 格式報告，含 FFU 性能、靜電、溫濕度連續監控曲線
Outcomes
專案成效
- ISO Class 3 合格維持
- 浮游菌 CFU 達標
- 完整 IEST RP-CC006 報告